Дагы бири - газ{0}}фазалык ыкмасы, химиялык буу коюу (CAV) ыкмасы, ошондой эле пиролиз ыкмасы, кургак ыкма же күйүү ыкмасы катары белгилүү. Анын чийки заты негизинен кремний төрт хлориди, кычкылтек (же аба) жана суутек, алар жогорку температурада реакцияга кирет.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >SiO2+4HCl. Синтетикалык гидролиз мешине жөнөтүлгөнгө чейин аба жана суутек тиешелүүлүгүнө жараша кысымга, бөлүүгө, муздатууга жана суусуздандырууга, силикагельди кургатууга, чаңды тазалоого жана чыпкалоого дуушар болушат. Кремний тетрахлоридинин чийки заты дистилляциялоо үчүн дистилляциялык колоннага жөнөтүлгөндөн кийин бууланткычта ысытылат жана бууланат, андан кийин ташуучу катары кургак жана чыпкаланган аба менен синтетикалык гидролиз мешине жөнөтүлөт. Кремний тетрахлориди жогорку температурада (жалын температурасы 1000-1800 градус) бууланып, андан кийин 1800 градуска жакын суутек жана кычкылтек (же аба) менен белгилүү бир өлчөмдөгү газ{8}}фазалык гидролизге өтөт. Бул учурда пайда болгон газ фазасындагы кремнезем бөлүкчөлөрү өтө майда жана газдар менен аэрозолдорду түзүшөт, аларды кармоо кыйын.
Ошондуктан, алар адегенде агрегатордо ири бөлүкчөлөргө бириктирилет, андан кийин циклондук сепаратор менен чогултулуп, кычкылсыздандыруучу мешке жөнөтүлөт. Газ-фазалык кремний диоксиди азот-камтыган аба менен PH мааниси 4-6 болгонго чейин жуулат, бул даяр продукт.